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高效过滤器的检漏通常采用PAO发生器在滤器上游发尘，使用光度计（photometer）检测滤器上下游气溶胶浓度来判定滤器是否有泄漏。发尘的目的是因高效过滤器上游尘粒浓度较低，仅用粒子计数器在不发尘的情况下检测，较难发现有泄漏，需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。人工气溶胶DOP已有近40年历史，一段时间以来，因被怀疑对人有致癌作用，现常以DOS（Dioctylsebaeate癸二酸二辛脂）亦称DEHS及PAO(polyaphaolefin聚a烯烃）等代替，但实验方法仍称“DOP法”。

高效送风口的外壳采用优质冷扎钢板制作而成，高效送风口表面是静电喷塑，含静压箱高效过滤器，散流板，在改建和新建的个级洁净室，可作为终端高效过滤装置在洁净棚等处，具有投资少，施工简便等优点。一体化送风口过滤器是一种封闭式结构、外形低且重量轻的外壳，中间装有一台高效过滤器等。它具有较佳过滤性能并和风管相连的过滤组，用于层流和非层流等级为100000到10级的洁净室内。封闭式的设计，防止内部有空隙和侧漏，过到了洁净室对空气质量的严格要求。它的外形低、重量轻及可弃式设计的优点使它适用于医院的手术室、实验室、制药业、微电子、胶片和食品加工工厂等方面。

高效送风口主要部分及其各部分主要作用：进风口：有圆形和方形之分；静压腔：其作用是可以将气流的动压转变成静压，从而起到了降低阻力，减小噪音，使出风口气流更加均匀，静压腔高度不宜过小，否则会造成出风的不均、阻力过大等后果；高效过滤器(HEPA)，是用于过滤空气中的尘埃粒子；散流板：作用是扩散气流、装饰。

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PAO发生器可分为热发生和冷发生两种，在对过滤器进行扫描检漏时，经常使用冷DOP检测仪器有两种，一种是气溶胶光度计，另一种是粒子计数器，高效过滤器检漏中常用的检测仪器是气溶胶光度计。其工作原理是：当气流被真空泵抽至光散射室时，其中的颗粒物质散射光线至光电倍增管。在光电倍增管中，光被转换成电信号，此信号经放大和数字化后由微处理器分析，从而测定散射光的强度。通过与参比物质产生的信号的对比，可以直接测量气体中颗粒物质的质量浓度，因此其用途十分广泛。而粒子计数器，它的测试值反映的是气流中粒子个数的浓度!粒"并规定粒径范围，其灵敏度较高，对所有尘源气溶胶适用，选择余地较大，但在高效过滤器检漏中较少使用，两种仪器测试结果难以定量对比。

一为可更换过滤器形式，二为一次性风口形式。高效送风口一：由高效过滤器、优质薄钢板、铝合金扩散孔板等组成，安装方便，密封可靠，可方便地更换过滤器。接管方式可采用上接或侧接。高效送风口二：分超薄型、薄型两种。均为一次型风口，更换方便（仅需卸下送风管和风口之间的软接头的管箍即可）。特别适用于吊顶空间受限制的净化空调系统。主要优点：箱体结构简单可靠，通风性强，送风均匀，安装方便，维护简单。

高效送风口与FFU风机过滤单元的对比：高效送风口跟FFU风机过滤单元都是洁净车间内用于过滤空气中的尘埃粒子，以达到产品生产时对洁净度要求的净化设备。高效送风口和FFU风机过滤单元两者的箱体外表面均有静电喷塑的处理，并都可采用冷轧钢板、不锈钢板、镀锌板等外框，都可根据客户的具体要求工工作环境另外定制。

进行高效送风口检漏，检查和检漏是否合格，安装时应根据各台送风口的阻力大小进行合理调配，对于单向流，同一风口或送风面上的各过滤器之间，每台额定阻力和各台平均阻力相差应小于5%。用于以过滤气溶胶为目的的、5级或5级以上洁净室或者有专门要求的送风末端高效过滤器或其末端装置安装后，应逐台进行现场扫描检漏，并应合格。

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带扩散板的送风口：扩散板的开孔一般为8MM，扩散板呈凸形结构，对洁净气流的扩散效果好。带平面形扩散板的送风口：这种送风口的扩散板在一个平面上，周边开设斜向条缝出风口，中间开设孔径为3MM左右的圆孔组。保温送风口：在洁净室中，夏季送风温度低于室内温度，而冬季一般都高效于室内温度。因此，需对送风口的的壁面进行绝热处理，保证送风参数符合设计要求，保温送风口就是在高效过滤器送风口内的静压箱内壁面上，粘贴符合要求的保温材料，在保温材料的外面再覆盖薄镀锌钢板，以防止保温材料掉尘。